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8486202900 其他制造半导体器件或集成电路用薄膜沉积设备 台/千克 13% 详情
8486202200 制造半导体器件或集成电路用物理气相沉积装置 台/千克 13% 详情
8486202100 制造半导体器件或集成电路用化学气相沉积装置 台/千克 13% 详情