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84861
09000
其他制造单晶柱或晶圆用的机器及装置
台/千克
13%
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84861
04000
制造单晶柱或晶圆用的化学机械抛光设备
台/千克
13%
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84861
03000
制造单晶柱或晶圆用的切割设备
台/千克
13%
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84861
02000
制造单晶柱或晶圆用的研磨设备
台/千克
13%
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84861
01000
利用温度变化处理单晶硅的机器及装置
台/千克
13%
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